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이 글에 적은 내용의 대부분은 아래 페이지의 내용을 가져온 것.
현재 사용되는 대부분의 폴리실리콘 제조는 지멘스 공법으로 이뤄진다 (Siemens). 독일의 지멘스사가 개발한 공법으로, 실리콘을 기체 화합물 형태로 만들어 이를 증착시키는게 제조의 핵심. 지멘스 공법은 아래 페이지에 자세히 적어놓긴 했는데 오늘은 다른 제조 방법에 대해서도 같이 적으려고 한다.
사실 FBR 공법의 적용이 이슈가 되어서 리서치를 시작. FBR 공법은 Fluidized Bed Reactor 공법이라고 하는데... 비구름에서 우박이 내리는 것 처럼 시드 입자에 폴리실리콘 입자들이 증착되면서 점점 커지고, 충분히 무거워지면 폴리실리콘 구슬이 바닥에 떨어지는 식이다.
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해당 방법의 장점은 지멘스 공법에 비해서 (1) 전력 소모량이 1/10 정도로 매우 저렴하고 (2) FBR 방식으로 생산된 폴리실리콘 구슬을 지멘스 방식으로 사용한 폴리실리콘이랑 같이 섞으면 폴리실리콘 용광로를 더 빠르고 효율적으로 채울 수 있다는 것.
다만 단점으로는 (1) 여러 특허에 의해 보호되어 널리 사용이 어렵고 (2) 상대적으로 지멘스 공법에 비해 복잡하고 기술력이 필요하며 (3) 전기료가 아니라 다른 비용이 올라가고 (4) 사용 불가능한 실리콘 자투리(가루)가 남아서 효율성을 잡아먹는다는 점이 있다고 한다.
중국 업체 중에서는 GCL Poly가 이런 공법을 선두적으로 연구하고 있다.
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